数字化用户杂志

摘要：为解决集成电路制造中智能供液设备在有限空间内实现多功能集成的机械系统设计难题,本文结合JXRD010项目实际研发案例,针对设备外形尺寸大幅缩减而功能需求不变的核心矛盾,重点阐述了文丘里结构的变径改装与管路布局优化、除氦气装置的腔体小型化重构、紧凑型钣金的分段强度设计与模块化拆装结构、可拆卸负压风道的矩形法兰连接方案,以及微型化数字元件的集成选型与电控箱布局等关键技术措施.通过上述内部机械系统的协同创新,成功研制出单台可同时供应三种化学品的紧凑型智能供液设备,显著提升无尘室空间利用率与供液稳定性,为半导体关键配套设备的国产化替代提供了可靠的技...

关键词：

集成电路智能供液设备有限空间机械系统优化

在线出版日期：

2026-06-19 （万方平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）

页数：

3 (67-69)